回顧【雙面蝕刻機(jī)】的發(fā)展史
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雙面蝕刻機(jī)更早僅是一個(gè)蝕刻液槽或缸，存放了蝕刻液，覆銅板掛浸在里面溶液中未保護(hù)的銅; 后又使蝕刻液攪動(dòng)或板子擺動(dòng)，稍微提高蝕刻速度。此后，在蝕刻液槽中間有一根噴管，板子豎直放于槽體周?chē)?，噴管旋轉(zhuǎn)的離心力把溶液飛濺于板面上實(shí)現(xiàn)蝕刻銅。由于板子固定放置于槽內(nèi)，人工放板與取板效率低，且勞動(dòng)強(qiáng)度大。這種條件下加工的板子線(xiàn)條寬度/間距在0.5mm以上。
后來(lái)采用水平傳送板子，泵輸送溶液至噴管?chē)娏苋芤?，初期還沒(méi)有用到噴嘴，僅采用塑料管上開(kāi)小孔或縫隙噴淋出的溶液，壓力較小。以后進(jìn)一步發(fā)展成采用噴嘴與擺動(dòng)結(jié)構(gòu)。
水平傳送承載板子的載體曾是采用塑料編織網(wǎng)帶，由蝕刻機(jī)兩頭輥輪轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)塑料網(wǎng)的移動(dòng)，板子放在網(wǎng)上后不動(dòng)的。這種網(wǎng)帶傳送的好處，適合各種尺寸(長(zhǎng)、寬與板厚)板子及撓性板的蝕刻，其缺點(diǎn)是只能單面蝕刻，雙面板要經(jīng)翻板二次蝕刻。為能雙面同時(shí)蝕刻，改為滾輪傳送，這樣板子隨著滾輪前進(jìn)，上下都有空隙可噴淋溶液于板面。裝載滾輪的輥軸轉(zhuǎn)動(dòng)，有靠鏈條帶動(dòng)或齒輪帶動(dòng)，相對(duì)而言齒輪傳動(dòng)平穩(wěn)可靠。因?yàn)閭魉蜐L輪之間有間隙，會(huì)使小尺寸板及柔軟的板不能傳送，這就要考慮滾輪的密度，或附加“過(guò)橋”，使得小尺寸板與撓性板也能傳送，已有設(shè)備稱(chēng)能傳送更薄25μm的薄片。
曾有垂直式傳送蝕刻機(jī)，板子垂直掛吊于夾具上進(jìn)入蝕刻機(jī)內(nèi)，在蝕刻室兩側(cè)溶液噴淋板面。由于蝕刻設(shè)備復(fù)雜和沒(méi)有體現(xiàn)優(yōu)良的蝕刻效果，因此沒(méi)被發(fā)展。現(xiàn)在主流是水平傳送噴淋式蝕刻機(jī)。
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